1 3
2 7
3 13
4 31
5 31
6 127
7 307
8 1093
9 1723
10 2801
11 3541
12 8191
13 5113
14 8011
15 10303
16 19531
17 17293
18 28057
19 30941
20 30103
21 131071
22 88741
23 86143
24 147073
25 524287
26 292561
27 459007
28 492103
29 797161
30 552793
31 579883
32 598303
33 684757
34 704761
35 732541
36 735307
37 830833
38 1191373
39 1204507
40 1353733
41 1395943
42 1424443
43 1482307
44 1886503
45 2037757
46 2212657
47 2432041
48 2507473
49 2922391
50 3281533
51 3413257
52 3500201
53 3730693
54 3894703
55 4534771
56 5229043
57 5168803
58 5333791
59 5473261
60 5815333
61 7094233
62 7450171
63 7781311
64 8746807
65 8817931
66 9069133
67 9250723
68 12207031
69 9843907
70 10378063
71 10572253
72 11611057
73 11899051
74 12190573
75 12655807
76 13479913
77 15066043
78 15916111
79 17284807
80 17787307
81 18143341
82 19443691
83 22292563
84 22406023
85 22576753
86 23790007
87 23907211
88 25646167
89 24735703
90 25035013
91 25396561
92 25882657
93 28792661
94 28638553
95 30266503
96 34427557
97 36572257
98 38112103
99 39449441
100 40825711